建設技術者向けNEWS

　アズビルは、安定した計測が難しかった毎分３０mmリットル以下の流量計測が可能な「熱式微小液体流量計　形　Ｆ７Ｍ」を１２月４日から販売開始する＝写真。初年度に２０００台、３年後には８０００台の販売を目指す。

　微小液体流量の領域では、用途を限定すれば複数の実用化例はあるものの、一般産業市場や半導体製造プロセス、製薬、化学分析の各分野において、実際の使用条件に合致し、価格条件や大きさ、形状、設置条件なども満たす流量計はほとんど皆無だったという。

　そこで同社は、独自技術の熱式ＭＥＭＳセンサーと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせることで、気泡や脈動、流体温度など流体状態の変化の影響を受けにくく、流体ごとに異なる熱伝導率を補正し、多様な流体を計測できる新流量計を開発した。

　微小流量の測定に加え、標準装備のイベント出力機能を使うことで、配管内の空状態や気泡混入を検知したり、脈動の状態を監視できる。ＩｏＴ（モノのインターネット）技術との組み合わせにより、製造工程の品質管理や異常検知も可能になる。